《使用声表面波的一种新型压力传感器》PDF+DOC
作者:黄腊宝
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1978年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG1978030140
DOC编号:DOCYDSG1978030149
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在103兆赫YZ铌酸锂声表面波换能器(SAW)上面(电极间距离为3厘米)进行了机械应力效应实验。在应力为-90×;10~(-6)时相位漂移是40°;,并且相移与应力成很好的线性关系。SAW压力传感器的最佳设计,包括一个箝位楔形压电薄膜,在上面制作两组叉指电极。确定了电极的最佳位置。在压力作用下薄膜偏斜就会使一组叉指电极的相位迟后而使另一组的相位推前。热膨胀效应的最大相位漂移和抵偿通过测量这两组电极的相位差而得到。
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