《采用ZnSe-Zn_(1-x)Cd_xTe薄膜异质结传感器的高灵敏度固体摄像器件》PDF+DOC
作者:
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》1982年第04期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG1982040230
DOC编号:DOCBDTG1982040239
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日本三菱电气公司中心研究所研制出一种高灵敏度固体摄像器件。该器件采用了ZnSe-Zn_(1-x)Cd_xTe异质结薄膜光导层。以具有大电荷处理能力(约90×;10~5电子/象素)和简单的栅结构的BBD移位寄存器作摄像区的垂直扫描器。水平扫描电路则采用隐埋CCD移位奇存器。器件象素为506(V)×;413(H)。水平象素中的有效象素为384,余下的29象素为光学黑。单元尺寸为36(V)×;32(H)μm~2,异质结上的金属电极尺寸为32(V)×;18(H)μm~2,即单元面积的73%为有效光学传感器,比没有光导体时的Sipn光电二极管大3倍。摄像区面积约10.4(V)×;13.5(H)mm~2,相当于1时的光导摄像管。芯片
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