《ML—12型力敏应变片的设计》PDF+DOC
作者:李怀胜
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1982年第Z1期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1982Z10010
DOC编号:DOCCGQJ1982Z10019
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一、前言 ML—12型力放应变片系采用半导体平面工艺,在N型硅单品片上扩散P型杂质,形成两个电阻条而制成的。它具有体积小,灵敏度高等优点,是一种新颖的半导体力敏应变片。它适用于各种贴片式加速度传感器和其它贴片式力传感器。 ML—12型力敏应变片是综合了加速
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