作者：王兵 ,张茂雍 单位：中国自动化学会;中国科学院沈阳自动化研究所 出版：《机器人》1983年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJQRR1983020110 DOC编号：DOCJQRR1983020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 这里介绍一种高精度高响应性的湿度传感器，它已在食品工业、农业及其它许多部门得到广泛的应用，在制造上也有许多优点便于大批生产。 图1是湿度传感器的结构图，在绝缘基板1上有一对电极2，上面是绝缘层3，再上面是氧化层4。 绝缘基板1采用耐热性良好的陶瓷，上面有电极对2，电极对2做成梳子形，它具有形状小而容量大的特点。电极对2一般是用金、银、钯等一类贵重金属制成的涂层用网板制上

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