《IC式半导体压力传感器》PDF+DOC
作者:白水俊次,王大春
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1981年第02期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG1981020090
DOC编号:DOCYDSG1981020099
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目前正在利用制作普通IC和晶体管的材料及工艺来研制把压力和形变等物理量变换成电量的Si压力传感器.以前仅用于个别测量的各种传感器,现已能复合地、系统地使用,而且与其它传感器相比,与机械部件关系密切的压力传感器也在向固体化发展.人和压力之间有密切的关系,例如,高气压和低气压,血压与健康,工厂里的油压,气压的控制等到处可见.仅从这些方面来看,对压力传感器的需要量就很大.最近,由于和微型电子计算机为主的各种计算机的配合,发现了很多新应用,所以应用范围正在逐渐扩大。
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