作者：付建才 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1984年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1984040060 DOC编号：DOCCGQJ1984040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本发明系一种生产微型压力传感器的工艺。利用该工艺生产的传感器的主要特点是在使用中耐高温。这种传感器的敏感膜片具有一定的形状，以便能集中和限制敏感区内产生的应力，并将这一应力引向传感器内检测压差的敏感元件。

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