《梁式半导体应变传感器及其测试》PDF+DOC
作者:陈奕升,黄德群
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1980年第05期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1980050100
DOC编号:DOCYBJS1980050109
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一、引言该传感器是在一薄片弹性金属工件上粘贴有半导体应变片而构成的应变梁,接入测量电路中就可将力的变化转换为电量进行测量。一般地将贴有半导体应变片的弹性工件和电阻元件(包括补偿元件)组成的应变电桥称为半导体多变传感器。我们研制的传感器已成功地用于晶体生长的取讯号装置,控制生长直径为φ25mm至φ75mm的各种尺寸的铌酸锂晶体。由于其
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