《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC 一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现，但由于涉及到各种技术问题，特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展，到了航空测试设备发展受到传感器影响时，这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后，人们对半导体锗和硅的...
2. 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传......
3. 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC 运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的......
4. 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用，学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题，提出了一种应变因子改进算法，与实验结果比较表明该算法的科学性，为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。...
5. 《多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算》PDF+DOC 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律，优化多晶硅应变电阻的设计，弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点，研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.计算分析结果与实验基本相符...
6. 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。...
7. 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。...
8. 《高精度、高稳定的水晶压电压力传感器》PDF+DOC 一、前言 目前工业上广泛使用硅压阻效应压力传感器。在普通工作环境下，其性能可以满足一般要求，可是倘若在恶劣环境条件下使用或要求高精度测量，会感到其温度漂移太大，易腐蚀，其动态范围和寿命远...
9. 《梁-膜结构微压传感器研制》PDF+DOC 由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构，具有平面应力集中效应，与一般的结构相比，这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中，使传感器在测量微压时有较高的灵敏度，它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设......
10. 《单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法》PDF+DOC 介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理，阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明：在-45~85℃温区内，补偿后，热零点漂移和热灵敏度漂移从&#177；0.5%FS/℃提高到&#177；0.014%FS/℃。...