作者：郑贵英 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1982年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1982Z10030 DOC编号：DOCCGQJ1982Z10039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MLG2型加速度传感器是采用半导体应变片做敏感元件的压阻式传感器，为贴片式悬臂梁结构形式。其特点是体积小，重量轻、灵敏度高、频带宽。不足之处是受温度变化的影响较大。根据这些特性，为了保证传感器质量，提高测量精度。必须制定相应的工艺规程。现对工艺流程的确定和几项关键的装配工艺的研究

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