作者：陈善羽 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1981年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1981060180 DOC编号：DOCYBJS1981060189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目前，苏联和其他一些国家十分关注采用微电子学的方法和设备来制造一次机电转换传感器，其中包括在各种科学技术领域中应用的压力测量传感器。在这类传感器中，感压元件是一块薄的平膜片，它是由单晶硅制成。传感器晶体的制备过程是建立在集成电路工艺的基础上，因此引入了“集成”这个词，以反映出所述传感器的特点。

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