作者：车军 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1980年第01期 页数：12页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1980010050 DOC编号：DOCYQXB1980010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 扩散硅压阻传感器是七十年代出现的新型检测仪表。本文描述了该传感器的特性、原理、硅压敏膜片的设计理论。同时介绍了传感器的压力量程计算方法、装配结构、扩散工艺、低温玻璃封接技术、球焊技术等研究成果，使传感器精度和长期稳定性显著提高。其精度达到001%FS，非线性小于0.05%，迟滞小于0.02%，不重复性小于0.02%。

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