作者：西原元久,宫心喜 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1982年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1982030160 DOC编号：DOCXDJL1982030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、前言半导体压力传感器是利用硅的压电电阻效应所产生的压力来进行测量的仪器。它是把检测的压力机械量变换为电信号的元件组装在硅晶体上。这种传感器是一种应用范围很广泛的

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