《半导体传感器》PDF+DOC

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9. 《膜片式压力传感器设计中应考虑的问题》PDF+DOC 本文给出膜片式压力传感器初步设计的一般性指南。在实际开发和设计传感器的过程中，需要对由膜片的直径和厚度决定的灵敏度、线性、频率响应等进行最优的计算和选择，以达到所要求的性能。文中所使用的一些公式是以下列假定为基础的：1.膜片的厚度是均匀的；2.膜片的变形量很小；3.膜片整个圆周为刚性夹紧；4.膜片处......
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