《硅集成式压力传感器设计和使用中的几个主要技术问题》PDF+DOC
作者:周忠海
单位:中国力学学会;四川省力学学会;中物院流体物理研究所
出版:《爆炸与冲击》1984年第02期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBZCJ1984020060
DOC编号:DOCBZCJ1984020069
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本文根据测量爆炸冲击波中对测压传感器的要求,提出高频动态硅集成式压力传感器结构及封装方式。在对动态试验的记录波形进行分析比较中,发现高频硅集成式压力传感器桥臂电阻阻值对记录波形响应的影响。进而对桥臂电阻阻值参数的选择提出见解。文中还叙述了传感器安装条件和为消除在化爆中观测到的干扰波形而对传感器结构做的改进。
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