作者:S. Middelhoek ,J. B. Angell ,Date J. W. Noorlag ,刘忠玉 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1982年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1982030050 DOC编号:DOCCGQJ1982030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 用硅集成化技术制成的微型硅传感器,可以和微处理机装在同一硅片上。这种微型传感器正在许多试验室里加以研制,并且不久将促使微处理机大量用于消费产品,如汽车,照相机,洗衣机,小型生物医学仪器,电冰箱,电炉,防污染装置,空调设备,电子气压表和气象站等。 目前微处理机尚没有完全介入上述市场,因为微处理机缺少用集成化技术制作的,能测量诸如压力,温度、湿度、力、加速度和气体流量等变量的,廉价可靠的

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