《低压石英谐振器压力传感器》PDF+DOC
作者:杨旗光
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1982年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1982060060
DOC编号:DOCYBJS1982060069
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本文介绍一种数字式2×;10~■Pa范围的压力传感器。该传感器是利用精密石英谐振器作为传感元件。力通过圆片形的石英膜片施加于谐振器,其频率变化与所施加的力成比例。该传感器的极限分辩误差小于0.7Pa。
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