作者:王化祥 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1982年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1982040070 DOC编号:DOCCGQJ1982040079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一、引言 许多类型的可变电容压力传感器已经问世。并且大多数是金属焊接结构。这种结构是用张紧的膜片式隔膜作为挠曲元件。该类型传感器具有高灵敏度,而且具有随处于两个电极中心的膜片差动形式工

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