《微型硅传感器的发展》PDF+DOC
作者:S.密德尔霍克,D.J.W.挪尔拉格,远宇,柯汕
单位:机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会
出版:《中国仪器仪表》1982年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZYQB1982060010
DOC编号:DOCZYQB1982060019
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利用硅平面工艺,不但可实现电路集成化,而且可使传感器一体化。本文对传感器领域中的科研工作做了全面的评述并着重介绍了测量系统和信号转换;同时对传感器未来的发展前景做了一些论断和展望。
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