《压力传感器灵敏度温漂的新补偿方法》PDF+DOC
作者:屠海鹰
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》1981年第06期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS1981060020
DOC编号:DOCJLJS1981060029
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一、前言压力传感器的灵敏度温度漂移是生产者和使用者都感头痛的问题。它引起的相对测量误差(灵敏度温度系数)可高到10~(-1)数量级。即使是目前精度最好的集成半导体压力传感器,具有良好温度自补偿性能的产品比例也很小。
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