作者：徐清发,钱念治 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1981年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1981030020 DOC编号：DOCZDYB1981030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文从传感器行业实际需要出发，概括地描述了半导体传感器的研制现状和发展趋势，其中重点介绍了半导体压力传感器的有关结构和工艺程序。

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