作者：耿文学 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1984年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB1984020050 DOC编号：DOCZYQB1984020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 非晶硅光传感器所谓非晶硅，实质上硅原子在很小的范围内仍然是有规则的共价键结合着。它不象单晶硅那样，一块整体都是基本无大缺陷的整齐的晶体，所以非晶硅的制造方法比较简单，一般可以由硅烷气体通过辉光放电法直接制成，也可以象制造单晶硅的杂质半导体一样在原料中掺入三价或五价的元素来形成P型或N型半导体硅。非晶硅光传感器比历来常用的单晶硅或硫化镉等半导体传感器具有下述的优点：

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