作者：卢一丁 单位：陕西鼓风机（集团）有限公司 出版：《工业仪表与自动化装置》1984年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYZD1984050060 DOC编号：DOCGYZD1984050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在压力传感器中，半导体传感器以它体积小、灵敏度高等突出优点，遥遥居于压力传感器之首。特别是扩散型半导体压力传感器，制造方法同于IC的制造方法，它能与IC相结合，并能和IC线路制造于同一块基板上。目前日本压力传感器主要向着小型化、薄型化及特殊化、集成化、耐高温化方向发展。

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