《半导体压力传感器》PDF+DOC
作者:马丽杰
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1982年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1982030070
DOC编号:DOCCGQJ1982030079
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1.序言 最近,以半导体传感器为中心的新型传感器的大量研制,以及这些新型传感器的应用,使精度更高、稳定性好的工业用测量仪器已商品化。作为这些测量仪器之一而广泛应用于测量流量、压力、液面、比重等方面的电子式差压变送器和电子式压力传送器(以下把两者总称为传感器),也都使用了新型传感器。 1963年日立制作所将金属应变计作为
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