《可测至200巴的硅压力传感器》PDF+DOC
作者:孟涛
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1981年第03期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1981030120
DOC编号:DOCYBJS1981030129
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西德西门子公司在1980年汉诺威博览会上展出了几种新型硅压力传感器,其型号为 KPY10…17。西门子的这种硅压力传感器由两片硅片构成,这两片硅片组合成一个均匀的单晶组件。这种硅压力传感器的精度至少为20毫伏/巴。从1980年年中起西门子公司已提供封装于多种外壳的低压(O~2巴)及中压(0~10巴)的产品。目前正准备生
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