作者：梁增寿 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1983年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1983010020 DOC编号：DOCYDSG1983010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅具有显著的压阻效应，是制造硅压阻压力传感器的理想材料.用硅制成的压力传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和进行批量生产、使用方便等特点.本文综述硅压阻压力传感器的最近发展，产品制造用的新技术、性能特点、发展水平；概述硅压阻压力传感器的应用，并对我国硅压阻压力传感器的发展提出了一些看法。

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