作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2016年第08期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2016080230 DOC编号：DOCCGSJ2016080239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 佳能推出了用于模拟半导体、传感器及通信部件等Io T相关部件及功率器件的半导体曝光装置FPA-3030EX6。该装置支持制造Io T部件所用各种材质特殊基板以及直径200mm以下的小型基板。这是跟佳能原有机型“FPA-3000EX6”具有同等性能的Kr F准分子雷射步进机，解像度为150nm，重叠精度在25nm以下，生产效率(处理能力)为每小

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