作者:C.K.Campbell,杨清宗 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》1985年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG1985020070 DOC编号:DOCYDSG1985020079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文介绍计算机辅助制图法的用途.此方法与常用的光刻原图工艺技术的主要区别是:它用墨汁在数字刻图机上绘制SAW叉指换能器掩模图案,而不用将这些图案先刻在塑料膜上.它有利于制作几何图形复杂的叉指换能器或换能器阵列。

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