《用计算机辅助制图法简化SAW换能器图案掩模的制作》PDF+DOC
作者:C.K.Campbell,杨清宗
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1985年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG1985020070
DOC编号:DOCYDSG1985020079
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本文介绍计算机辅助制图法的用途.此方法与常用的光刻原图工艺技术的主要区别是:它用墨汁在数字刻图机上绘制SAW叉指换能器掩模图案,而不用将这些图案先刻在塑料膜上.它有利于制作几何图形复杂的叉指换能器或换能器阵列。
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