作者: 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》1987年第02期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG1987020150 DOC编号:DOCYDSG1987020159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • (一)声表面波技术047 制作在Ta_2O_5/熔石英上的温度补偿SAW延迟线——Y.Nakagawa:IEEE Trans.UFFC,1986:33(3)331—32在溅射有Ta_2O_5薄膜的熔石英玻璃上制作了一阶温度系数为零的SAW器件,这种结构的二阶温度系数约为ST切石英的两倍,其符号相反。

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