作者：张永义 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》1987年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC1987060060 DOC编号：DOCGDGC1987060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了TP86A单板机在可变矩形电子束曝光机工件台系统中的应用。其中包括接口部份的硬件以及对工件台运动的控制，调试和定位精度检测用的软件包设计。

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