作者：张鸿海,陈志祥,陈日曜 单位：华中科技大学 出版：《华中科技大学学报(自然科学版)》1987年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHZLG1987030160 DOC编号：DOCHZLG1987030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文对用光散射方法测量表面粗糙度的原理进行了探讨，研制了表面粗糙度的测量装置.利用该装置对用不同加工方法加工出来的表面粗糙度(R_a=0.02～10μm)进行测量.此外，由于采用了光调制技术，从而克服了照明光、背景光及电噪声对输出信号的影响，故该装置可用于精密切削过程中对加工表面粗糙度的在线监测。

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