作者：何振江 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1980年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1980040100 DOC编号：DOCYQXB1980040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文概述了表面缺陷光电传感器的特点、原理和分类方法。论述了这类传感器的灵敏度和信噪比的估计方法，计算了1微米分辨能力的D、K数值。本文提出了一种区分缺陷类别的光学方法。最后，介绍了这类传感器的设计要点和及评定性能的方法。

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