作者：张艳芝 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987040050 DOC编号：DOCCGQJ1987040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 木文介绍的是用厚膜法制备气敏器件加热器的方法及初步探索。目的是为研制各种厚膜型器件及多功能器件提供必需的加热衬底。我们以95％Al_2O_3陶瓷做基片。在其一侧采用印刷技术先后制做电极、加热器及绝缘保护层；在另一侧，同样采用印刷技术先后制作电极及敏感材料。从以SnO_2为主体的敏感材料的试验结果来看，用厚膜法制备的气敏器件的加热衬底，完全可以满足加热要求；并可做为制做其它敏感器件加热衬底的方法。

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