《用于MEMS器件的ASIC集成温度传感器设计》PDF+DOC
作者:李雨佳,杨拥军,任臣,刘德盟
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2016年第04期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2016040060
DOC编号:DOCBDTQ2016040069
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设计了一款集成于微电子机械系统(MEMS)器件专用集成电路(ASIC)的数字输出CMOS温度传感器。该温度传感器主要由温度敏感电路、一阶Σ-Δ调制器以及配套的偏置电路和时钟产生电路组成。通过分析和建模仿真,确定信号的比例系数和其他设计参数,优化调制器的动态范围,提高了精度。利用斩波技术减少运算放大器低频噪声。通过对运算放大器和比较器电路的合理设计来降低功耗。该单片集成温度传感器电路采用0.18μm CMOS工艺制造。测试结果表明,-45~85℃下电源电压为1.8 V、采样时钟频率为200 kHz、设置带宽为98 Hz时过采样率为1 024,此温度传感器分辨率达到0.03℃,功耗为0.18 mW。
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