作者：张善根 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》1989年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS1989010090 DOC编号：DOCDGZS1989010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、前言 在半导体、集成电路的制造中，利用超声波的能量进行键合的工艺，具有焊接可靠、工作效率高、不需加热、并可用硅铝丝作为连接线等优点。因此，我厂在试制超声波键合的同时，试制了超声波发生器及换能器。 本文重点在于介绍锁相环路在超声波发生器中的应用，对于其余部分，恕不在此详述。但是为了更好地说明锁相环路在该机中的控制原理，首先须将超声波换能器的结构及其等效电路作简单的介绍。

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