《测定薄膜厚度只需两秒钟》PDF+DOC
作者:侯印春
单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
出版:《激光与光电子学进展》1987年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGDJ1987020370
DOC编号:DOCJGDJ1987020379
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大日本荧光屏制造公司研制出一种用分光薄膜干涉色的方法测定厚度的光学膜厚仪。该装置的分光部分采用平面成像型全息凹面衍射光栅,探测部分采用一维电荷耦合器件图像传感器,可在全波段同时测定。这种结构与众不同(见图)。
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