作者：吴宪平,鲍敏杭 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987010040 DOC编号：DOCCGQJ1987010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文论述了用于固态传感制备的〈100〉和〈110〉晶向硅片各向异性腐蚀的特点和机理；对掩模图形边缘取向和(100)硅矩形台而凸角处的削角现象进行了探讨；对各种各向异性腐蚀剂的配方与性能进行了对比；并列腐蚀残留物成分与形成条件进行了分析与研究。

    📙 相关资料

    1. 《硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法》PDF+DOC 针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题，进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构，对长方形凸台进行补偿，最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的过载保护结构设计。...
    2. 《压力传感器中的各向异性腐蚀技术》PDF+DOC 研究了半导体压阻式压力传感器制作中的关键工艺———硅各向异性腐蚀.采用两种腐蚀液：m(TMAH)∶V(H2O)=50g∶50ml和m(KOH)∶V(IPA)∶V(H2O)=50g∶15ml∶35ml，在80～85℃腐蚀，均获得了较为理想的效果.制作的1MPa多晶硅压力传感器的输出线性度、迟滞和重复性......
    3. 《Metropolis蒙特卡罗模拟湿法腐蚀算法研究及应用》PDF+DOC 探讨了Metropolis蒙特卡罗方法模拟硅微加工各向异性湿法腐蚀仿真算法.在台阶流动(step flow)模型上引入了腐蚀概率方程，确定了蒙特卡罗转移概率.通过对不同相位晶面(vicinal surface)在掩模下的腐蚀模拟对提出的方法进行了校验分析，解释了蒙特卡罗法处理复杂晶面的原理和过程.模......
    4. 《传感器的微机械加工中各向异性腐蚀过程的计算机模拟》PDF+DOC 本文介绍传感器微机械加工中使用的各向异性腐蚀的计算机模拟。首先，提出了一个关于迟缓矢的概念，这在分析腐蚀过程中是非常重要的。利用此概念便可以知道被腐蚀晶体的凹角隅或凸角隅的顶点是怎样运动的。每时每刻被腐蚀的晶体的轮廓便可显示在计算机屏幕上。这样便可以设计出合理的掩膜以获得各向异性腐蚀后所需要的传感器......
    5. 《对称体微机械电容加速度传感器的结构设计》PDF+DOC 描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位......
    6. 《双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究》PDF+DOC 本文指出采用矩形双岛结构可以实现硅压力传感器的非线性内补偿.用一维近似模型分析计算了矩形双岛结构硅压力传感器硅芯片的应力分布及其与(100)硅各向异性腐蚀深度的关系，指出对已确定了几何尺寸的掩模，可以找到某一最佳腐蚀深度，使这时两对力敏电阻所受横向应力大小与其非线性值成反比.这样总的非线性为零值.通......
    7. 《传感器和执行器手册:厚膜传感器》PDF+DOC 荷兰Elsevier出版社从1994年起陆续出版传感器和执行器手册，目前已出版了《固态磁传感器》及《厚膜传感器》等两册。该丛书汇集了各相关领域的基础和应用方面的论题，很有参考价值。现根据Elsevier出版社的征订广告对《厚膜传感器》一书作简要介绍。...
    8. 《微型双岛硅膜制作中的削角补偿方法研究》PDF+DOC 针对微型双岛硅膜制作中的凸角削角腐蚀问题，提出了一种新的削角补偿方法一“两端矩形补偿法”，并在感压膜尺寸仅为０．７２ｍｍ&#215；１ｍｍ的双岛硅膜制作中获得成功。...
    9. 《高量程压力传感器的硅杯设计》PDF+DOC 本文针对硅压阻效应的各向异性，在压力传感器的硅杯设计中提出了“平均应力点等效模型”的基本设计思想，并以此模型为基础详细论述了高量程压力传感器硅杯的设计过程。...
    10. 《改性Nafion膜在全固态二氧化硫气体传感器中的应用》PDF+DOC 研究了用改性Nafion膜作固体电解质的全固态定电位电解型SO2 气体传感器。发现Nafion膜用硫酸处理后 ，膜的保水性增加 ，因此传感器的稳定性较好 ，进行寿命试验 4个月 ，性能略有下降 ，有望成为一种能实际使用的气体传感器。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。