《用声表面波振荡器测量位移》PDF+DOC
作者:MasanhiroIshido,TakeoImaizumi,MinortlToyoda,王吉新
单位:中国航天科技集团102所;中国航天科工集团公司二院203所
出版:《宇航计测技术》1988年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYHJJ1988060080
DOC编号:DOCYHJJ1988060089
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利用声表面波(SAW)延迟线振荡器能制成一个位移传感器。这种延迟线振荡器具有两块铌酸锂(LiNbO_3)板,每一块板的表面带有一个叉指式换能器(1DT),把两块板的传播表面的一部分相互搭接在一起。在声表面波传感器中,振荡频率取决于声表面波元件的传播途径长度,这个长度通过移动振荡器的两块铌酸锂板中的一块板来改变。本文所说的声表面波位移传感器具有很高的灵敏彦,达300Hz/μm 和1.0kHz/μm。它是通过在 Y—X 两块铌酸锂板的表面上分别用6.5对(间距为0.55mm)和5对(间距为0.4mm)的叉指式换能器来实现的。声表面波延迟线振荡器的模态转换在某个给定的传播途径长度上出现,可用频谱分析仪观察。
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