作者：鲍敏杭 ,王言 单位：复旦大学 出版：《复旦学报(自然科学版)》1985年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFDXB1985030150 DOC编号：DOCFDXB1985030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着半导体微电子学的发展和计算机的广泛应用，传感器也向着半导体化的方向发展.硅压阻式压力传感器是半导体传感器中历史较久的一种，近年来更向着小型化和集成化的方向发展.但目前的硅压力传感器的核心部分都是由制作在硅薄膜上的四个力敏电阻组成的力敏全桥构成的.图1是它的电路和结构示意图.在无应力时，四个电阻

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