作者：张鸿海,陈志祥,陈日曜 单位：中国机械工程学会;北京机床研究所 出版：《制造技术与机床》1987年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZJYC1987100090 DOC编号：DOCZJYC1987100099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文根据光学三角原理，介绍了用光纤束作传感器，对μｍ以下的微小位移进行检测的方法及系统的组成。并从该测量原理出发，还可以对圆度、微小尺寸偏差、表面轮廓及微小振幅的振动、以及硅片、胶片的厚度偏差进行检测。

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