作者：张福海 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1988年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1988060020 DOC编号：DOCCGQJ1988060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 气体浓度或分压(如P_(co_2)或P_(NH_3)测量在工业中有着重要的用途。近年来，在医学和生理学领域，生物体内气体浓度测量之重要性也日趋显著。例如，已经承认，细胞内二氧化碳气体浓度的测量为生理学提供了重要的信息。在医学领域，血液中二氧化碳浓度的连续测量可监测病人在麻醉过程中、重病期间或痊愈过程中的状态。在这些过程中，血液二氧化碳含量的突然变化会出现一些严重后果。这类测量需要一个极小的二氧化碳传感器插入细胞内部或血管中进行。半导体敏感器件的迅速发展为这一用途的气敏电极的制作提供了便利。本文讨论了如何用ISFET制作小型气敏电极。

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