《兰宝石上外延硅工艺及其应用》PDF+DOC
作者:陈庆贵,史日华,姚友龙,邬华,董荣康
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《半导体技术》1988年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTJ1988030040
DOC编号:DOCBDTJ1988030049
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本文着重于SOS材料制备及提高其性能的工艺.并用它研制成硅-兰宝石半导体压力传感器及LC4023和LC4027辐射加固的CMOS/SOS集成电路.其主要性能为国内领先,达到八十年代的国际同类产品的水平,并已用于工业部门。
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