《兰宝石—硅膜的压阻效应》PDF+DOC

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5. 《半导体压力传感器电路》PDF+DOC 这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层，作成硅膜片，从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥，然后将压力转换成电信号再进行处理。...
6. 《压力传感器》PDF+DOC 本发明是应用在半导体单晶体内扩散电阻的半导体应变计来检测压力的压力传感器。 此种压力传感器，是对n型硅之类半导体的单晶体选择扩散p型电阻，外加压力，使半导体单晶体发生应变，利用压阻效应测出p型电阻元件的电阻变化值，便知外加压力的大小。压力传感器的硅膜片结构如图1(a)和(b)所示。它由硅膜片1和硅座......
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10. 《半导体压力传感器研制现状与开发动向》PDF+DOC 随着IC制造技术的迅速发展，硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐，对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向。...