《硅膜中心横向压阻力敏器件》PDF+DOC
作者:鲍敏杭,王言
单位:复旦大学
出版:《复旦学报(自然科学版)》1986年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFDXB1986030040
DOC编号:DOCFDXB1986030049
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本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证了理论结果的正确性。
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