《硅薄膜气压计》PDF+DOC
作者:石塚宏,张余丰
单位:中国气象科学研究院;北京市气象局;中国气象局气象探测中心;国家卫星气象中心;国家气象信息中心
出版:《气象科技》1986年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFQXKJ1986020170
DOC编号:DOCQXKJ1986020179
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目前,气压传感器的主要类型有利用金属薄膜偏移的电容型和利用硅薄膜压电电阻效应的应变计型。本文简要介绍后者。这种压力传感器用在非常广阔的领域,在气象方面主要用于测量大气压。图1给出了各种硅薄膜压力传感器的基
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