《使用有毒气体装置需要有完善的安全系统——MOCVD装置的解决方法》PDF+DOC

在LSI制造中有很多工艺使用有毒气体。这次把美国公司的MOCVD作为考察制造装置对安全要求的调查对象。作者主张在生产现场掌握MOCVD技术需要加强安全措施和充实保险系统。很多活性炭排气处理装置适于MOCVD。热分解炉安在反应管后，进一步提高排毒效率。根据重要程度，在联锁机构上，使之具有四段保险功能，利用双重O环密封控制金属与石英部件间的泄漏。

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