作者：程锡纯,许德恩 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1988年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1988030010 DOC编号：DOCYQYB1988030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、容栅国内外发展状况依靠改变电容两个极板之间的距离进行小位移非接触式测量的方法由来已久，但是由于传感器输出的非线性和分布电容的干扰没有得到解决，致使电容传感器的应用在一个很长的时期内只局限于微小的测量范围内。二十世纪七十年代，随着集成电路的迅速发展以及电容传感器采用了周期性改变耦合面积的设计方法，为解决上述两个问题提供了条件，从而扩大了量程。又由于电容传感器(下称容栅)可以制成体积小，成本低，速度快的量仪，使得容栅在近十年内得到了迅速的发展和应用。把容栅与集成电路结合在一起，进行直

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