《扩散硅力敏器件》PDF+DOC
作者:古启伦
单位:汕头大学
出版:《汕头大学学报(自然科学版)》1987年第01期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSTDX1987010080
DOC编号:DOCSTDX1987010089
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,刘通
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本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法。
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