作者：中村正春,张耀宏 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1989年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1989020060 DOC编号：DOCXDJL1989020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.前言现在，常用的触针式表面粗糙度测量方法是最可靠的方法。但近年来，由于软质材料的使用，加工超精密化或高速化的要求日益提高，所以出现了用光代替触针的测量法。光学

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