作者：陈庆贵,史日华,邬华,詹千宝 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第Z1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987Z10170 DOC编号：DOCCGQJ1987Z10179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在蓝宝石(α-Al_2O_3)衬底上异质外延生长硅单晶膜(简称SOS)，在集成电路上有着重要的应用。然而，这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器，并有商品

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