作者：张守愚,俞朴 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1988年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1988010070 DOC编号：DOCCGJS1988010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文叙述一种能把微小位移转换成电压信号并进行数字显示的测微仪，其最高分辨力达0.01μm。该测微仪没有MCS 48系列的Intel 8039单片微机，采用差动电感传感器。由于采用了低噪声、高稳定的放大器与高稳幅激励电源，利用软件与硬件实现测量功能控制、量程自动转换、数据平均处理、非线性校正及零位自动调节，实现了高精度，高分辨力和操作使用方便的愿望。经过试验与使用，取得了令人满意的结果。

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